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MEMS傳感器分類及典型應(yīng)用
2016-1-8 閱讀(1654)
MEMS傳感器的門類品種繁多,分類方法也很多。按其工作原理，可分為物理型、化學(xué)型和生物型三類。按照被測(cè)的量又可分為加速度、角速度、壓力、位移、流量、電量、磁場(chǎng)、紅外、溫度、氣體成分、濕度、pH值、離子濃度、生物濃度及觸覺(jué)等類型的傳感器。綜合兩種分類方法的分類體系如下圖所示。
其中每種MEMS傳感器又有多種細(xì)分方法。如微加速度計(jì)，按檢測(cè)質(zhì)量的運(yùn)動(dòng)方式劃分，有角振動(dòng)式和線振動(dòng)式加速度計(jì)；按檢測(cè)質(zhì)量支承方式劃分,有扭擺式、懸臂梁式和彈簧支承方式；按信號(hào)檢測(cè)方式劃分，有電容式、電阻式和隧道電流式；按控制方式劃分，有開環(huán)和閉環(huán)式。
MEMS傳感器不僅種類繁多，而且用途廣泛。作為獲取信息的關(guān)鍵器件，MEMS傳感器對(duì)各種傳感裝備的微型化發(fā)展起著巨大的推動(dòng)作用，已在太空衛(wèi)星、運(yùn)載火箭，航空航天設(shè)備、飛機(jī)、各種車輛、生物醫(yī)學(xué)及消費(fèi)電子產(chǎn)品等領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。MEMS傳感器的典型應(yīng)用如下表所示。
制造技術(shù)的日益精進(jìn)使MEMS傳感器的參數(shù)指標(biāo)和性能不斷提高，與多種學(xué)科的交叉融合又使傳感器不斷推陳出新，應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓寬。
