第三代功率半導體器件靜態測試系統，集多種測量和分析功能一體，可以精準測量不同封裝類型功率器件（如MOSFET、BJT、IGBT以及SiC、GaN第三代半導體等）的靜態參數，具有高電壓和大電流特性、μΩ級J確測量、納安級電流測量能力等特點。支持高壓模式下測量功率器件結電容，如輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容等。詳情上普賽斯儀表咨詢

普賽斯PMST功率器件靜態參數測試系統配置有多種測量單元模塊，模塊化的設計測試方法靈活，方便用戶添加或升級測量模塊，適應測量功率器件不斷變化的需求。

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系統組成

普賽斯PMST功率器件靜態參數測試系統，主要包括測試主機、測試線、測試夾具、電腦、上位機軟件，以及相關通訊、測試配件等構成。整套系統采用普賽斯自主開發的測試主機，內置多種規格電壓、電流、電容測量單元模塊。結合專用上位機測試軟件，可根據測試項目需要，設置不同的電壓、電流等參數，以滿足不同測試需求。測試數據可保存與導出，并可生成I-V以及C-V特性曲線。此外，測試主機可與探針臺搭配使用，實現晶圓級芯片測試；也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測試需求。

測試主機內部采用的電壓、電流測量單元，均采用多量程設計，測試精度為0.1%。其中，柵極-發射極，Z大支持30V@10A脈沖電流輸出與測試，可測試低至皮安級漏電流；集電極-發射極，Z大支持6000A高速脈沖電流，典型上升時間為15μs，且具備電壓高速同步采樣功能；Z高支持3500V電壓輸出，且自帶漏電流測量功能。電容特性測試，包括輸入電容，輸出電容，以及反向傳輸電容測試，頻率Z高支持1MHz。

系統特點

高電壓：支持高達3.5KV高電壓測試（Z大擴展至10kV）；

大電流：支持高達6KA大電流測試（多模塊并聯）；

高精度：支持uΩ級導通電阻、納安級漏電流測試；

豐富模板：內置豐富的測試模板，方便用戶快速配置測試參數；

配置導出：支持一鍵導出參數配置及一鍵啟動測試功能；

數據預覽及導出：支持圖形界面以及表格展示測試結果，亦可一鍵導出；

模塊化設計：內部采用模塊化結構設計，可自由配置，方便維護；

可拓展：支持拓展溫控功能，方便監控系統運行溫度；

可定制開發：可根據用戶測試場景定制化開發；

系統參數

項目		參數
集電極-發射極	Z大電壓	3500V
	Z大電流	6000A
	精度	0.10%
	大電壓上升沿	典型值5ms
	大電流上升沿	典型值15us
	大電流脈寬	50us~500us
	漏電流測試量程	1nA~100mA
柵極-發射極	Z大電壓	300V
	Z大電流	1A(直流)/10A(脈沖)
	精度	0.05%
	Z小電壓分辨率	30uV
	Z小電流分辨率	10pA
電容測試	典型精度	0.5%
	頻率范圍	10Hz~1MHz
	電容值范圍	0.01pF~9.9999F
溫控	范圍	25℃~150℃
溫控	精度	±1℃