當前位置：柜谷科技發展（上海）有限公司>>等離子裝置>>等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS

等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地

在線詢價收藏產品查看聯系電話

聯系方式：查看聯系方式

更新時間：2022-10-04 12:50:07瀏覽次數：182次

聯系我時，請告知來自智慧城市網

產品分類 品牌分類

  等離子裝置

全部產品列表

暫無信息

柜谷科技發展（上海）有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：101條

所在地區：

詢價 給他留言

產品簡介

詳細介紹

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征
● 可變更電極構造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據需求規格提供定制。

用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除

內槽

規格

型號	V1000	V1000X	V1000XS
等離子模式	DP/RIE
高頻電源	13.56MHz
輸出功率	Max1000W	Max1000 & 1500W
有效電極尺寸	W280×D280mm	W300×D300mm	W400×D375mm
電極	平行平板	2段電極（獨立）	平板（多目的）
反應氣體	聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝）
真空泵（標配）	約1000L/min	約1500L/min	1000 & 1500L/min
安全裝置	門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等