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北京燕京電子有限公司
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新一代曝光光刻機UVKUB3UVKUB3是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機，其采用365nm紫外LED冷光源以及高精密光學準直系統，可實現1um的光刻精度和小于2的發散角
新一代曝光光刻機UV KUB 3
UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機，其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光學準直系 統，可實現 1um 的光刻精度和小于 2°的發散角。UV KUB 3采用開放式樣品盤，可以進行不同模式的曝光 光刻，如軟接觸或硬接觸模式；同時配備了高精密 的位移臺，輔以雙 CCD 成像系統，可在 5 分鐘內實 現 1um 的對位精度。
特色
主要性能
性能指標
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