靜電電壓對半導體及IC生產線上有什么危害
閱讀：5425發布時間：2012-5-14
1、半導體和IC生產線上的靜電電壓
①穿著尼龍衣、塑膠基底鞋緩慢在清潔地板上走動，人身會帶7KV-8KV電壓
②玻璃纖維制成的晶體載料盒滑過聚丙烯桌面時，易產生10KV靜電。
③晶片裝配線：晶片5KV，晶片裝料盒35KV，工作服10KV，桌面10KV，有機玻璃蓋8KV，石英晶體1.5KV，晶片托盤6KV
④光刻間塑料地面500V-1000V，金屬網格地面也是500V-1000V，擴散間塑料地面500V-1500V瓷磚地面也是500V-1500V，塑料墻面約700V，塑料頂棚0-1000V，鋁板送風口，回風口500V-1000V，金屬活動皮革椅面500V-3000V
2、半導體和IC生產線上的靜電危害
①靜電庫侖力的危害：靜電庫侖力作用下吸附的粉塵、污物，可能帶給元器件，從而增大泄露或造成短路，使性能受損，成品率大大下降。如粉塵粒徑>100微米，鋁線寬度約100微米，薄膜厚度在50微米以下時，zui易使產品報廢，這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中
②靜電放電引起的危害：如有數千、數萬伏的高電位物體發生脈沖刷形放電或火花放電時，瞬間會有很高的放電電流流向大地時，形成脈沖狀的電流峰位在20A，造成可觀的影響，靜電放電（ESD）還伴隨著電磁波發射，會引起種種危害。
A、MOSIC等半導體器件將被靜電放電（ESD）擊穿或半擊穿。MOS場效應管其柵極是從氧化膜引出，柵極與襯底間是隔著一層氧化膜，當柵極與襯底間的電壓超過一定值，氧化膜便被擊穿，如果MOSIC，則全部報廢了當施加電壓于天UB=50-100V，氧化膜便會被擊穿，因為柵極電容很小（約幾個微微法），輸入阻搞很高（約1014Ω以上），這樣，少量的電荷就會產生很高電壓，電荷也很難匯漏，只要大于50V（無保護）就會燒毀，所以，只要人手一摸柵極，元件就壞了，因為人帶電超過50V是平常事。
我們可以了解到集成電路對靜電敏感性，各種芯片不同之處在于所能承受的耐靜電壓值不同。實際工用條件中，幾乎20V的靜電壓直接接觸器件就足以毀壞或降低性能。
靜電放電損壞元器件使整塊印刷電路板失去作用，造成經濟損失；
靜電放電的噪聲引起機器設備的誤動作或故障一間接放電影響，電容放電測得結果，除產生瞬間脈沖大電流外，還會產生跨越數兆赫茲，甚至數百赫茲的強大噪聲。近年來，靜電放電噪聲引起計算機誤動作的基礎研究取得很大進展。
放電時產生的電磁波進入接收機后，會產生雜音，干擾信號從而降低信息質量，或引起信息誤碼。
3、靜電感應的危害
受靜電感應的物體與帶電體*等價，并有靜電力學現象和放電現象的發生，如果感應物體的電阻是較小良導體時，還會發生火花放電而造成危害。
A、生產操作的車間里。
高電壓設備、線路附近，人員在操作焊接、擺弄MOS器件或MOSIC時，由于靜電感應，極易引起人體對器件的靜電放電，從而損壞器件。
B、管道輸送的空調氣流（離子流），對人體吹風時相當于充電，當帶電人體接觸敏感器件，靜電放電會擊穿損壞器件。
4、對電子設備生產過程的靜電危害
整機生產的各個環節都會遭遇靜電破壞。主要環節包括：器件的采購運輸；器件進廠檢驗、驗收；器件儲存、領料；器件插裝、焊接；產品組裝、檢驗；產品包裝，發貨。
除電子元件、電子設備生產過程中受到靜電破壞外，就是在產品使用過程中，也會受到靜電的危害。歸納起來，靜電引起的危害足以造成電子器件和電子設備性能失調，其對電子器件、設備危害的狀況不容忽視。
