深圳市托理拆利機電設(shè)備有限公司是英國Edwards愛德華真空泵shou權(quán)代理商，24小時提供技術(shù)支持及售后服務(wù)，為客戶提供定制化真空解決方案，在充分考慮真空技術(shù)要求的基礎(chǔ)上以zui低的成本滿足所需的性能。設(shè)計系統(tǒng)時，我們會兼顧運行成本和環(huán)保要求。涵蓋各應(yīng)用領(lǐng)域如：半導(dǎo)體、鋰電、實驗室、光伏太陽能、平板顯示、工業(yè)應(yīng)用、塑料、醫(yī)療、PET擠出機脫氣、吸塑機械、包裝機械、線路板等；我們能夠為您提供高附加值的真空解決方案。技術(shù)服務(wù)：138，237，883，80

愛德華Edwards真空泵在半導(dǎo)體面板真空吸附真空清掃、光伏、鋰電應(yīng)用案例介紹

近年來，真空泵業(yè)務(wù)高增長，光伏客戶提貨加速，半導(dǎo)體重要客戶形成批量。

2022年4月，由深圳市托理拆利機電設(shè)備有限公司給廣東某半導(dǎo)體行業(yè)項目選用了兩套愛德華Edwards真空泵，目前設(shè)備安裝調(diào)試完畢，運行穩(wěn)定。在光伏、鋰電、半導(dǎo)體面板等要求較高的領(lǐng)域及其工藝特性，需要一個極其潔凈的環(huán)境以保證生產(chǎn)過程中產(chǎn)品不受空氣污染或擾動的影響，且要求真空系統(tǒng)jue dui無油，對設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性要求也比較高，因此Edwards真空泵是光伏鋰電半導(dǎo)體面板等領(lǐng)域中bi備的通用設(shè)備，愛德華真空泵百分之%無油，變頻節(jié)能，安全可靠wan quan mang zu要求。 

半導(dǎo)體行業(yè)真空應(yīng)用工藝介紹

半導(dǎo)體行業(yè)中的蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設(shè)備，機械手，自動化真空清掃等 所需用真空為生產(chǎn)真空（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。

工藝真空主要利用負(fù)壓吸附進(jìn)行工件搬運或夾持，清掃真空主要利用負(fù)壓與大氣壓差進(jìn)行液體或顆粒的清除或輸送。

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