粗糙度輪廓一體機 Infex6362N-sdn
特點：
2 一次測量實現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析
2 實現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測量
Ø 測量原理
本儀器測量原理為直角坐標測量法，即通過X軸、Z1軸傳感器，測繪出被測零件的表面輪廓的坐標點，通過電器組件，將傳感器所測量的坐標點數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔籔C機，軟件對所采集的原始坐標數(shù)據(jù)進行數(shù)學運算處理，標注所需的工程測量項目。
Ø 測量功能
輪廓測量功能：
尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑
夾角：包含水平角、垂直角、夾角
位置公差：包含平行度、垂直度
形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧
輪廓度輔助生成：包含輔助點、輔助線、輔助圓
糙度測量功能：
R參數(shù)：Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rsmin、Rsksd、Rku、Rkumax、Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλa、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr
W 參數(shù)：Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、
Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr
P參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta、
Motif參數(shù)：Ncrx、R、Rx、AR、Nr、Cpm、Sr、Sar、W、Wx、Aw、Wte、Nw、Sw、Saw
截止波長（λc）：0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
評定長度：λcX2,3,4,5,6,7，X軸有效范圍內(nèi)
濾波器：高斯濾波器，圓弧濾波器，非線性濾波器，2RC濾波器
Ø 測量范圍
| 項目 | 測量范圍 | 分辨率 |
| 傳感器 | ±7.5mm | 0.02μm |
| 驅(qū)動器 | 100mm | 0.2μm |
| 立柱 | 320mm | - |
Ø 技術(shù)規(guī)格
| 技術(shù)參數(shù) | 指示精度1 | ≤±（0.8+2L/100）μm |
| 直線度2 | ≤0.3μm/100mm | |
| Z軸線性精度3 | ≤±（0.8+|0.12H|）μm | |
| 粗糙度指示精度 | ≤±（8nm+3.5％） | |
| 重復性4 | 1δ≤2nm | |
| 殘值噪聲5 | ≤12nm | |
| 圓弧6 | ≤（1.2+R/12）μm | |
| 圓弧Pt6 | ≤±0.3μm | |
| 角度7 | ≤±1′ | |
| 運動控制 | X軸驅(qū)動方式 | 電動 |
| Z軸驅(qū)動方式 | 電動 | |
| X軸驅(qū)動速度 | 0.05~15mm/s | |
| Z軸驅(qū)動速度 | 0.2-15mm/s |
注：1、L為測量長度，精度檢驗方法：激光干涉儀；2、λc為2.5mm，測量速度≤0.3mm/s，測量平晶；3、H為的測量高度；4、采用Ra為0.35-0.5μm的方波標準件；5、λc為0.08mm，測量速度為0.1mm/s，測量平晶；6、2mm＜R＜10mm的標準球，取樣圓弧夾角為120°；7、60°、90°的角度塊，角邊取樣長度為5mm；8、以上參數(shù)均在20℃±2℃，階梯溫度不超過2℃/h和地面振動RMS＜50Hz 2.5μm/s 且 RMS＞50Hz 5.0μm/s的環(huán)境下測得。
