在線配氣裝置系統(tǒng)產(chǎn)品概述
MFC-08在線配氣系統(tǒng)，應(yīng)用高精度質(zhì)量流量計(jì)對氣體流量進(jìn)行控制，通過高性能氣體混合罐實(shí)現(xiàn)氣體均勻混合，通過軟件可針對每路氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制，并可進(jìn)行配氣應(yīng)用方案設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)不同時間段配氣濃度的自動調(diào)節(jié)。具備配氣精度高、應(yīng)用靈活、智能化等多個特點(diǎn)
在線配氣裝置系統(tǒng)產(chǎn)品功能
1、1-8組氣體的流量輸出控制

2、2-8組氣體的在線均勻混合

3、配氣方案智能控制，可對各組氣體流量進(jìn)行程序控制，可使各組氣體流量根據(jù)預(yù)設(shè)程序進(jìn)行調(diào)控
4、多種配氣方式可選
5、可外接各類儀器、反應(yīng)器等
6、混合、獨(dú)立等多種氣路外接方式
7、氣體預(yù)熱功能
8、智能氣路清洗功能

9、多種氣體應(yīng)用可選

 
在線配氣裝置系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
1、混氣裝置：采用異形氣體混合倉與氣體擾流板技術(shù)
2、控制系統(tǒng)：全自動控制，并可對配氣方案進(jìn)行程序控制，實(shí)現(xiàn)流量、使用氣體、使用時間的隨意編程
3、氣路系統(tǒng)：使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式，使系統(tǒng)耐腐蝕、氣密性好
4、氣路控制系統(tǒng)：使用日本SMC電磁閥，并為每個氣路設(shè)置單向閥，已防止氣體逆行，所有電磁閥均由軟件控制
5、配氣方案：可根據(jù)求，實(shí)現(xiàn)對每組氣體的流量進(jìn)行編程調(diào)整，即流量的多段控制
6、應(yīng)用氣體：氨氣、氮?dú)狻⒈椤⒁胰病⒈病⒍趸颉⒍趸肌⒍趸⒓淄椤㈦礆狻ⅰ⒀鯕狻錃狻⒀趸⒀趸嫉?br>7、流量控制：0-200毫升/分鐘、100-500毫升/分鐘、500—1000毫升 /分鐘可選
8、工作壓差：（0.1 ~ 0.5）  MPa
9、工作耐壓：3  MPa
10、重復(fù)精度：±0.2  %
11、工作精度：±1  %
12、工作溫度：5 ℃ ~ 45 ℃