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詳細摘要： SF6大容量羅茲泵真空泵裝置為了保護真空泵，真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動。空氣流經(jīng)羅茲泵的旁通管。